磁控直流溅射系统中除气装置

摘要

本发明公开了一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对；每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸；采用上述技术方案的磁控直流溅射系统中除气装置，其使得物料的上端面与下端面均可保持与空气的接触，从而使得除气腔室对于物料的湿气去除效果得以显著改善。

主权项

一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室内部设置有电热源；其特征在于，所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对；每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其包括有沿水平方向延伸，且与传输孔相连接的第一杆段，以及沿竖直方向延伸的第二杆段，第二杆段的端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸。