| 发明名称 | 非晶薄金属膜 | ||
| 摘要 | 本文公开内容涉及非晶薄金属膜和相关的方法。通常，非晶薄金属膜可包含三种金属或类金属的组合，包括：5at％至90at％的类金属，其选自碳、硅和硼的组中；5at％至90at％的第一金属，其选自钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱和铂的组中；以及5at％至90at％的第二金属，其选自钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱和铂的组中，其中第二金属不同于第一金属。通常，这三种元素占该非晶薄金属膜的至少70at％。 | ||
| 申请公布号 | CN105324512A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201380077734.3 | 申请日期 | 2013.07.12 |
| 申请人 | 惠普发展公司，有限责任合伙企业 | 发明人 | 小詹姆斯·埃尔默·阿博特;阿伦·K·阿加瓦尔;罗伯托·A·普列塞;格雷·斯考特·朗;斯蒂芬·霍尔瓦特;道格拉斯·A·凯斯勒;约翰·沃格;克里斯托弗·奥尔申;约翰·麦格隆 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种非晶薄金属膜，包含：5原子％至90原子％的类金属，其中所述类金属为碳、硅或硼；5原子％至90原子％的第一金属，其中所述第一金属为钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或铂；以及5原子％至90原子％的第二金属，其中所述第二金属为钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或铂，其中，所述第二金属不同于所述第一金属，其中所述类金属、所述第一金属和所述第二金属占所述非晶薄金属膜的至少70原子％。 | ||
| 地址 | 美国德克萨斯州 | ||