发明名称 |
酸气碱气分离装置 |
摘要 |
本发明公开了一种酸气碱气分离装置,可以实现酸碱分离。其技术方案为:设置一个进口和两个出口(酸气出口和碱气出口),并在装置内部的转动轴上安装一块挡板,随着转动轴转过一定的角度,使得挡板恰好遮挡住酸气出口或者碱气出口,从而使得当酸气从进口进入装置时,挡板关闭碱气出口,酸气从开启的酸气出口放出,而当碱气从进口进入装置时,挡板关闭酸气出口,碱气从开启的碱气出口放出。 |
申请公布号 |
CN105321841A |
申请公布日期 |
2016.02.10 |
申请号 |
CN201410365809.4 |
申请日期 |
2014.07.29 |
申请人 |
盛美半导体设备(上海)有限公司 |
发明人 |
吴均;程成;金一诺;王坚;王晖 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
施浩 |
主权项 |
一种酸气碱气分离装置,包括:基座,基座的侧面设有一个进口、一个酸气出口和一个碱气出口;动力元件;转动轴,位于基座内部,连接动力元件,在动力元件的作用下转动;挡板,和转动轴连成一体,随着转动轴的转动,视进口气体是酸气或是碱气来关闭碱气出口或是酸气出口。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢 |