发明名称 酸气碱气分离装置
摘要 本发明公开了一种酸气碱气分离装置,可以实现酸碱分离。其技术方案为:设置一个进口和两个出口(酸气出口和碱气出口),并在装置内部的转动轴上安装一块挡板,随着转动轴转过一定的角度,使得挡板恰好遮挡住酸气出口或者碱气出口,从而使得当酸气从进口进入装置时,挡板关闭碱气出口,酸气从开启的酸气出口放出,而当碱气从进口进入装置时,挡板关闭酸气出口,碱气从开启的碱气出口放出。
申请公布号 CN105321841A 申请公布日期 2016.02.10
申请号 CN201410365809.4 申请日期 2014.07.29
申请人 盛美半导体设备(上海)有限公司 发明人 吴均;程成;金一诺;王坚;王晖
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 施浩
主权项 一种酸气碱气分离装置,包括:基座,基座的侧面设有一个进口、一个酸气出口和一个碱气出口;动力元件;转动轴,位于基座内部,连接动力元件,在动力元件的作用下转动;挡板,和转动轴连成一体,随着转动轴的转动,视进口气体是酸气或是碱气来关闭碱气出口或是酸气出口。
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢