| 发明名称 | 反射电极用或布线电极用Ag合金膜、反射电极或布线电极、和Ag合金溅射靶 | ||
| 摘要 | 一种显示出低电阻率和高反射率，并且对于UV照射、O<sub>2</sub>等离子体处理等的清洗处理的耐氧化性优异的反射电极或布线电极所用的Ag合金膜，其中，含有In高于2.0原子％且2.7原子％以下、Zn高于2.0原子且3.5原子％以下中的至少一种。上述Ag合金膜，也可以还含有Bi 0.01～1.0原子％。 | ||
| 申请公布号 | CN105324510A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201480035394.2 | 申请日期 | 2014.06.11 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 志田阳子;后藤裕史;越智元隆 |
| 分类号 | C23C14/14(2006.01)I;C22C5/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01B1/02(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/26(2006.01)I;C22F1/00(2006.01)I;C22F1/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张玉玲 |
| 主权项 | 一种反射电极用或布线电极用Ag合金膜，是用于反射电极或布线电极的Ag合金膜，其特征在于，含有高于2.0原子％且为2.7原子％以下的In、高于2.0原子％且为3.5原子％以下的Zn中的至少一者。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||