尤其用于气体放电光源的电极系统

摘要

本发明涉及电极系统，特别地涉及用于生成EUV辐射和/或软X射线的气体放电装置的电极系统。该电极系统包括由电极材料形成的至少两个电极(1 2)，该电极材料包含Mo或W或者Mo或W的合金以作为主要组分。该电极材料具有细晶粒结构，且细晶粒结构具有≤ 500 nm的平均尺寸的细晶粒。利用所提出的电极系统，实现了电极的高的热机械耐受性和高的热化学耐受性。因此，该电极系统可用于使用液态Sn且高温运行的已知EUV光源中。

主权项

一种EUV气体放电光源的电极系统，其包括由电极材料形成的至少两个电极 (1, 2)，该电极材料包含Mo或W或者Mo或W的合金以作为主要组分，其中所述电极材料具有细晶粒结构，该细晶粒结构具有≤500 nm的平均尺寸的细晶粒。