具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器

摘要

提出一种具有衬底(1)的用于探测转速的转速传感器(100)，所述衬底具有主延伸平面，其中所述转速在或者平行于主延伸平面或者垂直于主延伸平面延伸的方向上持续，其中所述转速传感器包括主要地震质量块对(11，12)和次要地震质量块对(21，22)，其中地震质量块的所述主要对具有第一主要质量块(11)和第二主要质量块(12)而地震质量块的所述次要对具有第一次要质量块(21)和第二次要质量块(22)，其中第一主要质量块和第二主要质量块能够朝向彼此地沿着平行于转速传感器的主延伸平面延伸的主要偏转方向(P)相对于所述衬底地运动，而第一次要质量块和第二次要质量块能够沿着平行于转速传感器的主延伸平面延伸的次要偏转方向(S)相对于所述衬底地运动，其中一方面第一和第二主要质量块而另一方面第一和第二次要质量块能够或者反平行地或者彼此平行地根据相应的偏转方向运动，其特征在于，所述主偏转方向基本上垂直于次要偏转方向延伸，其中主要地震质量块对和/或次要地震质量块对可以被如此驱动，使得在转速传感器的旋转时科里奥利力引起第一主要质量块和第二主要质量块和/或第一次要质量块和第二次要质量块的偏转。

主权项

一种具有衬底(1)的用于探测转速的转速传感器(100)，所述衬底(1)具有主延伸平面，其中，所述转速在或者平行于所述主延伸平面或者垂直于所述主延伸平面延伸的方向，其中，所述转速传感器(100)包括主要震动质量块对(11，12)和次要震动质量块对(21，22)，其中所述主要震动质量块对具有第一主要质量块(11)和第二主要质量块(12)所述次要震动质量块对具有第一次要质量块(21)和第二次要质量块(22)，其中，所述第一主要质量块(11)和所述第二主要质量块(12)能够分别平行于主要偏转方向(P)相对于所述衬底地运动，所述主要偏转方向平行于所述转速传感器的主延伸平面延伸，所述第一次要质量块(21)和所述第二次要质量块(22)能够分别平行于次要偏转方向(S)相对于所述衬底(1)地运动，所述次要偏转方向平行于所述转速传感器(100)的主延伸平面延伸，其中，一方面所述第一主要质量块(11)和所述第二主要质量块(12)、另一方面所述第一次要质量块(21)和所述第二次要质量块(22)能够或者彼此反平行地或者彼此平行地根据相应的偏转方向地运动，其特征在于，所述主要偏转方向(P)基本上垂直于所述次要偏转方向(S)延伸，其中，所述主要震动质量块对(11，12)和/或所述次要震动质量块对(21，22)能够如此驱动，使得在所述转速传感器的旋转时科里奥利力引起所述第一主要质量块(11)和所述第二主要质量块(12)和/或所述第一次要质量块(21)和所述第二次要质量块(22)的偏转。