用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法

摘要

本发明提供了一种用于电子注分析仪的电子枪热测系统及其监测校正方法。该电子枪热测系统包括：主真空腔体；电子枪，位于主真空腔体内，包括：沿主真空腔体轴向依次设置的阳极、栅极和阴极，其中，阳极固定于主真空腔体的前端，栅极呈圆环形；同心轴组件，其一端插入主真空腔体内，另一端延伸于主真空腔体外，包括：内外相套的阴极内同心轴和栅极外同心轴；光学监测系统，用于通过开设于主真空腔体上的透明观察窗与栅极支筒侧面的狭长通透孔来监测电子枪中阴极和栅极的位置；以及碰零电路，分别通过设置于主真空腔体上的馈电头与阳极和栅极相连接，用于校正阳极和栅极的相对位置。本发明可以减小电子枪热测工作的工作量，提高测量的准确度。

主权项

一种用于电子注分析仪的电子枪热测系统，其特征在于，包括：主真空腔体；电子枪，位于所述主真空腔体内，包括：沿主真空腔体轴向依次设置的阳极、栅极和阴极，其中，所述阳极固定于主真空腔体的前端，所述栅极呈圆环形；同心轴组件，其一端插入所述主真空腔体内，另一端延伸于所述主真空腔体外，包括：内外相套的阴极内同心轴和栅极外同心轴，所述阴极内同心轴位于主真空腔体内的一端，用于固定所述阴极；所述栅极外同心轴位于主真空腔体内的一端，用于固定用于支撑栅极的栅极支筒；光学平台，位于所述主真空腔体外，用于支撑和驱动所述阴极内同心轴和栅极外同心轴；光学监测系统，用于通过开设于所述主真空腔体上的透明观察窗与所述栅极支筒侧面的狭长通透孔来监测电子枪中阴极和栅极的位置；以及碰零电路，分别通过设置于所述主真空腔体上的馈电头与真空腔体内的阳极和栅极相连接，用于校正所述阳极和栅极的相对位置；其中，所述狭长通透孔沿其轴向开设于所述栅极支筒上，在该狭长通透孔的上和/或下侧，标记有轴向刻度或特征点；所述透明观察窗开设于所述主真空腔体上与所述狭长通透孔的对应位置，通过所述透明观察窗和狭长通透孔的组合，能够观察到在预设范围内移动的阴极端面以及狭长通透孔上和/或下侧所刻的刻度或特征点。