一种MEMS湿度传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种MEMS湿度传感器及制备方法，为解决现有湿度传感器成本高、精度低等问题而设计。该MEMS湿度传感器包括支撑基底、设置于支撑基底上的电隔离层以及设置于电隔离层上的梳齿组件，所述梳齿组件间设置有加热电阻条，所述加热电阻条上覆盖有纳米纤维体。同时提出一种上述MEMS湿度传感器的制备方法。本发明MEMS湿度传感器的结构简单，灵敏度高，工艺兼容性强，适用范围广，安全可靠且制备工艺简单，易于实现，便于集成加工。

主权项

一种MEMS湿度传感器，包括支撑基底(1)、设置于支撑基底(1)上的电隔离层(102)以及设置于电隔离层(102)上的梳齿组件，其特征在于：所述梳齿组件间设置有加热电阻条(8)，所述加热电阻条(8)上覆盖有纳米纤维体(6)；所述梳齿组件包括设置于电隔离层(102)上的第一梳齿连接电极(2)、第一梳齿(3)、第二梳齿连接电极(4)和第二梳齿(5)，所述第一梳齿连接电极(2)连接有第一梳齿测试电极(10)，所述第二梳齿连接电极(4)连接有第二梳齿测试电极(11)，所述第一梳齿测试电极(10)经电极连接线(12)与第一传导电极(15)连接，所述第二梳齿测试电极(11)经电极连接线(12)连接第二传导电极(13)；所述支撑基底(1)的上表面被部分腐蚀，所述第一传导电极(15)和第二传导电极(13)的外侧至少部分悬置于所述支撑基底(1)的被腐蚀部分之上；所述第一梳齿(3)和第二梳齿(5)相互错位设置，所述加热电阻条(8)沿所述第一梳齿(3)和第二梳齿(5)之间的间隙环绕连接分布，所述加热电阻条(8)与所述第一梳齿(3)和第二梳齿(5)均不接触。