一种磁悬浮式微机械开关

摘要

本发明公开了一种磁悬浮式微机械开关，包括玻璃衬底、螺旋线圈、悬浮结构体和硅层；硅层键合在玻璃衬底的顶面，硅层中设有空腔；螺旋线圈和悬浮结构体位于空腔中，螺旋线圈连接在玻璃衬底的顶面上，螺旋线圈的顶面设有一氧化硅层，悬浮结构体置于氧化硅层上方；硅层的顶面设有带孔的氧化层，氧化层的顶面设有相对的两根金属导线；金属导线、氧化层和硅层靠近内腔的一侧呈台阶状，且两根金属导线之间的距离小于氧化层上的孔的孔径；悬浮层可向上运动嵌至在氧化层上的孔中，且悬浮层顶面的两端与两个金属导线相接触。该磁悬浮式微机械开关避免了弹性开关使用时的疲劳磨损，具有闭灵活、性能稳定、安全可靠、使用寿命长的特点。

主权项

一种磁悬浮式微机械开关，其特征在于，该微机械开关包括玻璃衬底(1)、螺旋线圈(2)、悬浮结构体(10)和硅层(7)；硅层(7)键合在玻璃衬底(1)的顶面，硅层(7)中设有空腔(4)，该空腔(4)连通外界和玻璃衬底(1)的顶面；螺旋线圈(2)和悬浮结构体(10)位于空腔(4)中，螺旋线圈(2)连接在玻璃衬底(1)的顶面上，螺旋线圈(2)的顶面设有一氧化硅层(3)，悬浮结构体(10)置于氧化硅层(3)上方；硅层(7)的顶面设有带孔的氧化层(8)，氧化层(8)上的孔和空腔(4)相通，氧化层(8)的顶面设有相对的两根金属导线(9)；每根金属导线(9)、氧化层(8)和硅层(7)靠近空腔(4)的一侧呈台阶状，且两根金属导线(9)之间的距离小于氧化层(8)上的孔的孔径；悬浮结构体(10)的长度大于两根金属导线(9)之间的距离，小于氧化层(8)孔的孔径；悬浮结构体(10)可向上运动嵌至在氧化层(8)上的孔中，且悬浮结构体(10)顶面的两端与两个金属导线(9)相接触。