可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路

摘要

本发明提供一种可变电容开关、阻抗匹配电路、以及发送和接收切换电路。该可变电容开关由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中，选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生，并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。

主权项

一种可变电容开关，由微机械装置制成，该微机械装置包括彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层，当在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压时，该第一电极或该第二电极发生位移，以导通或断开电路，其中选择并形成该介电层的材料和厚度，使得在以5毫秒的周期切换该控制电压的极性时，该第一电极与该第二电极之间的电容相对其电容初始值的改变量为10％或更小；以及所述可变电容开关还包括：绝缘膜，随着该第一电极或该第二电极的位移而移位；第三电极，被提供给该绝缘膜；第四电极，与该第三电极相对；以及第二介电层，形成在该第三电极与该第四电极之间，其中随着该绝缘膜移位，该第三电极与该第四电极之间的空间发生变化，这种空间变化导致阻抗改变，以切换电路的导通或断开。