可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器

摘要

本发明提供一种可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器，所述气体激光振荡器具备：输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其向放电管施加与电源输出指令对应的放电管电压，以便在放电管内开始放电；电压检测部，其对放电管电压进行检测；放电开始判定部，其根据逐渐增加电源输出指令时的电压检测部的检测值，来判定是否在放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从施加放电管电压到放电开始判定部判定为放电已开始为止的时间。

主权项

一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：激光气体进行循环的气体容器；放电管，其被配置在所述激光气体的循环路径上；输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其向所述放电管施加与所述电源输出指令对应的放电管电压，以便在所述放电管内开始放电；电压检测部，其对所述放电管电压进行检测；放电开始判定部，其根据逐渐增加所述电源输出指令时的所述电压检测部的检测值，来判定是否在所述放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为所述气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从开始施加所述放电管电压到所述放电开始判定部判定为开始了放电为止的时间。