一种大口径石英管退火方法及退火炉

摘要

一种大口径石英管退火方法，将大口径石英管放置在退火炉内，将退火炉内的温度以15～25℃/分钟的速度匀速升温至300℃、600℃、900℃，每个温度段保温50-60分钟，最后升温至1150℃时，保温10～20分钟，待自然冷却至200℃以下时，出炉，完成退火工艺，整个工艺采用适用大口径石英管的退火炉。本发明通过对退火炉的石英管进行逐级升温，保证了石英管的热稳定性；通过在炉腔的侧壁上设进料口和升降炉门，方便放置大口径石英管；通过设旋转臂和配重块，方便升降炉门的顺利开启与关闭；设高温砖和保温棉，在保证炉腔内良好加热效果的同时减少能源的消耗；整个装置结构简单，操作方便，特别适用于大口径石英管或大尺寸石英产品的退火工艺。

主权项

一种大口径石英管退火方法，其特征在于：将大口径石英管放置在退火炉内，将退火炉内的温度以15～25℃/分钟的速度匀速升温至300℃，然后保温50～60分钟；再以15～25℃/分钟的速度匀速升温至600℃，保温50～60分钟；再以15～25℃/分钟的速度匀速升温至900℃，保温50～60分钟；在以15～25℃/分钟的速度匀速升温至1150℃，保温10～20分钟，待退火炉内的温度自然冷却至200℃以下时，出炉，完成退火工艺。