一种使用等离子体技术进行玻璃表面金属化的方法

摘要

一种使用等离子体技术进行玻璃表面金属化的方法。采用Ar+N₂作为工作气体的直流电弧层流等离子体束作为热源，先后将两层过渡中间涂层高速喷涂到玻璃基体表面与玻璃形成牢固结合。采用本发明的玻璃表面金属化工艺可以在大气环境下实现规模化量产，生产效率高，粉料利用率高，其生成的金属化涂层大幅调节了封接接头的线膨胀系数，使之能与线膨胀系数不匹配的金属进行金属焊料钎焊，接头牢固可靠，气密性良好。

主权项

一种玻璃‑金属封接技术用玻璃表面金属化工艺，其特征是：采用Ar+N₂作为工作气体的直流电弧层流等离子体束作为热源，将熔化粉末高速喷涂到玻璃基体表面与玻璃形成牢固结合，从而改变玻璃表面金属化焊接接头热膨胀系数和可焊性，包括如下步骤：（1）利用直流电弧层流等离子体束将玻璃基体表面分步预热到接近软化温度；（2）首先采用Ar+N₂作为工作气体的直流电弧层流等离子体束喷涂一层Al₂O₃+TiO₂复合组分打底；（3）再喷涂Mo‑Ti系金属化粉末完成过渡金属化涂层的制备；（4）最后退火冷却，去应力。