硅铸锭炉及其泄漏检测装置

摘要

本发明提供了一种硅铸锭炉及其泄漏检测装置。泄漏检测装置包括：托盘，托盘包括本体区域和围绕本体区域的周向设置的熔硅承接区域，熔硅承接区域上设置有多个通孔；检测线，设置于托盘的熔硅承接区域的上表面，且检测线沿多个通孔所构成的路径延伸，检测线的引脚穿过一个通孔；以及检测单元，与引脚电连接，用于检测检测线的电阻。本发明的泄漏检测装置的托盘设置在坩埚的下方，当发生泄漏时，熔硅流到托盘的熔硅承接区域上，将检测线熔断，导致检测线的电阻变为无穷大，检测单元对检测线的电阻进行监控，当检测到检测线的两个引脚之间的电阻值大于预设值，发出报警信号，以提醒工作人员硅铸锭炉内发生了熔硅泄漏事故。

主权项

一种硅铸锭炉的泄漏检测装置，其特征在于，包括：托盘(10)，所述托盘(10)包括本体区域(14)和围绕所述本体区域(14)的周向设置的熔硅承接区域(12)，所述熔硅承接区域(12)上设置有多个通孔(11)；检测线(20)，设置于所述托盘(10)的所述熔硅承接区域(12)的上表面，且所述检测线沿所述多个通孔(11)所构成的路径延伸，所述检测线(20)的引脚(21)穿过一个所述通孔(11)；以及检测单元，与所述引脚(21)电连接，用于检测所述检测线(20)的电阻；所述泄漏检测装置还包括绝缘部(30)，所述绝缘部(30)设置在所述检测线(20)与所述托盘(10)之间；所述熔硅承接区域(12)上设置有凹槽(13)，所述绝缘部(30)设置在所述凹槽(13)内，所述检测线(20)设置在所述绝缘部(30)上，所述绝缘部(30)上设置有凹陷部，所述检测线(20)位于所述凹陷部内。