发明名称 Procédé de croissance épitaxiale d'une matière semi-conductrice
摘要
申请公布号 FR1345943(A) 申请公布日期 1963.12.13
申请号 FR19630922093 申请日期 1963.01.21
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 C23C16/48;H01L21/20;H01L23/29 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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