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发明名称
Procédé de croissance épitaxiale d'une matière semi-conductrice
摘要
申请公布号
FR1345943(A)
申请公布日期
1963.12.13
申请号
FR19630922093
申请日期
1963.01.21
申请人
HUGHES AIRCRAFT COMPANY
发明人
分类号
C23C16/48;H01L21/20;H01L23/29
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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