探针单元、探针单元制造方法及检查方法

摘要

一种探针单元，能实现轻型化。该探针单元包括探针销(2)、以及支承探针销(2)的支承部(3)，支承部(3)包括：以相互隔开地相向的状态配置的带状臂(11、12)、将各臂(11、12)的各基端部(21a、22a)加以保持的保持部(13)、以及作为将各臂(11、12)的各前端部(21b、22b)彼此连接的连接部发挥作用的探针销(2)，构成允许探针销(2)作直线运动或近似直线运动的四节连杆机构，各臂(11、12)分别在比基端部稍靠近前端部一侧的部位以及比前端部稍靠近基端部一侧的部位形成通孔(H1a、H1b、H2a、H2b)，各通孔之间的中间部位(21c、22c)作为构成四节连杆机构的各连杆来发挥作用，同时各通孔的形成部位(P1a、P1b、P2a、P2b)作为构成四节连杆机构的接头来发挥作用。

主权项

一种探针单元，包括探针销、以及支承该探针销的支承部，其特征在于，所述支承部包括：带状的第一臂和第二臂，该第一臂和第二臂沿着使所述探针销对探测对象进行探测时的探测方向以相互隔开地相向的状态配置；保持部，该保持部将该各臂的各基端部加以保持；以及连接部，该连接部能够安装所述探针销，并且将所述各臂的各前端部彼此连接，所述支承部构成允许所述探针销作与所述探测方向相反方向的直线运动或近似直线运动的四节连杆机构，所述各臂分别在比所述基端部稍靠近所述前端部一侧的部位以及比该前端部稍靠近该基端部一侧的部位形成通孔，该各通孔之间的中间部位作为构成所述四节连杆机构的各连杆来发挥作用，同时该各通孔的形成部位作为构成所述四节连杆机构的接头来发挥作用。