一种显影液恒温保持管路系统

摘要

本发明属于半导体匀胶显影领域，具体地说是一种显影液恒温保持管路系统，保温水循环系统的出口通过进水管进入显影单元、连接至集液块，与显影液源相连的显影液管进入显影单元，依次连接集液块、水液分离式药液阀及分液块，集液块与水液分离式药液阀之间的显影液管以及分液块与水液分离式药液阀之间的显影液管外均设有保温水套管，保温水套管与显影液管之间流通有由保温水循环系统提供的保温水；经分液块流出的保温水进入喷嘴的一个腔室，并通过回水管与保温水循环系统相连通，经分液块流出的显影液进入喷嘴的另一个腔室，喷洒至晶圆的表面。本发明使显影液管进入显影单元后完全浸泡在保温水里，避免裸露在外，减少其他因素对显影液的影响。

主权项

一种显影液恒温保持管路系统，其特征在于：包括保温水循环系统(11)及位于显影单元内的集液块(7)、水液分离式药液阀(5)和安装有分液块(3)的喷嘴(2)，其中保温水循环系统(11)的出口通过进水管(9)进入所述显影单元、连接至所述集液块(7)，与显影液源相连的显影液管(10)进入所述显影单元，依次连接集液块(7)、水液分离式药液阀(5)及分液块(3)，所述集液块(7)与水液分离式药液阀(5)之间的显影液管(10)以及所述分液块(3)与水液分离式药液阀(5)之间的显影液管(10)外均设有保温水套管(4)，所述保温水套管(4)与显影液管(10)之间流通有由保温水循环系统(11)提供的保温水；经所述分液块(3)流出的保温水进入所述喷嘴(2)的一个腔室，并通过回水管(8)与所述保温水循环系统(11)的入口相连通，经所述分液块(3)流出的显影液进入所述喷嘴(2)的另一个腔室，喷洒至晶圆(1)的表面。