一种微纳操作装置

摘要

本实用新型属于微纳操作装置技术领域，特别涉及一种体积小、精度高、运动范围大的微纳操作装置。该装置通过X向压电陶瓷线性马达、Z向压电陶瓷线性马达和Y向压电陶瓷旋转马达的结合，可实现纳米级精度、纳米级到厘米级大范围的微纳操作，实现三自由度单独或同时操控，精度高，解决了微纳操作装置操作范围小、适用性单一的问题，可以用于电子显微镜、光学显微镜等的精细操作，进行对准、注入、施加电信号、切割等微纳操作，且装置结构简单、体积小。

主权项

一种微纳操作装置，其特征在于，该装置的X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)，X向压电陶瓷线性马达(6)，第三连接件(7)，Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)，Z向压电陶瓷线性马达(9)，第四连接件(10)，Y向压电陶瓷旋转马达旋转盘(11)、Y向压电陶瓷旋转马达(12)和固定件(13)从上到下依次布置，且相邻部件之间为刚性连接，延长杆(3)的一端通过第二连接件(4)与X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)刚性连接，操作器(1)通过第一连接件(2)与延长杆(3)的另一端刚性连接；操作器(1)上连接操作器电源(20)；X向压电陶瓷线性马达(6)和X向驱动电源(17)之间连接X向压电陶瓷线性马达控制器(16)；Z向压电陶瓷线性马达(9)和Z向驱动电源(18)之间连接Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)；Y向压电陶瓷旋转马达(12)和Y向驱动电源(19)之间连接Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)；X向压电陶瓷线性马达控制器(16)、Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)和Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)分别连接至计算机控制系统(21)。