一种硅片盛放花篮

摘要

一种硅片盛放花篮，包括篮体，所述篮体左右内侧壁上及底部内侧壁上安装有至少两组栅板，栅板之间的空腔为硅片盛放腔，所述硅片盛放腔两侧的栅板侧面上安装有顶尖，所述顶尖的端部为椭圆形，本实用新型可有效减少硅片与花篮之间的接触面面积，从而减少污染，增加质量；并且由于本实用新型的顶尖采用椭圆形结构，因此，不会损坏硅片，从而保证产品质量；本实用新型结构简单，价格低廉，使用方便，能很好地降低因花篮卫生问题导致的不良片、返工片比例，能够广泛适用于制绒、扩散、刻蚀等工序。

主权项

一种硅片盛放花篮，其特征在于包括篮体，所述篮体左右内侧壁上及底部内侧壁上安装有至少两组栅板，栅板之间的空腔为硅片盛放腔，所述硅片盛放腔两侧的栅板侧面上安装有顶尖，所述顶尖的端部为椭圆形。