一种检查SAT汽化阀堵塞的方法

摘要

本发明公开了一种检查SAT(次常压化学汽相淀积设备)汽化阀堵塞的方法，包括：通过一次成膜制作硼磷硅玻璃光片，作为测试片一；采用相同工艺和参数通过多次成膜制作与测试片一厚度相同的硼磷硅玻璃光片，作为测试片二；对测试片一和测试片二进行硼磷浓度测量；比较测试片一和测试片二中的硼磷浓度；当硼浓度相差大于等于0.4mol％，磷浓度相差大于等于0.2mol％，判定汽化阀堵塞；当硼浓度相差小于0.4mol％，磷浓度相差小于0.2mol％，判定汽化阀畅通。本发明检查SAT汽化阀堵塞的方法能快速检测BPSG成膜是否有浓度异常，能准确判断汽化阀是否堵塞。

主权项

一种检查SAT汽化阀堵塞的方法，其特征是，包括以下步骤：（1）通过一次成膜制作硼磷硅玻璃光片，作为测试片一；（2）采用与步骤（1）相同工艺和参数通过多次成膜制作与测试片一厚度相同的硼磷硅玻璃光片，作为测试片二；（3）对测试片一和测试片二进行硼磷浓度测量；（4）比较测试片一和测试片二中的硼磷浓度；当硼浓度相差大于等于0.4mol%,磷浓度相差大于等于0.2mol%，判定汽化阀堵塞；当硼浓度相差小于0.4mol%,磷浓度相差小于0.2mol%，判定汽化阀畅通；上述各步骤测量均采用XRF法。