| 发明名称 | 烘烤单元、包括该单元的基板处理设备以及基板处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明构思涉及烘烤单元、包括该单元的基板处理设备以及基板处理方法。烘烤单元包括：壳体；加热单元，加热单元位于壳体中并且包括加热基板的加热板；传送单元，其位于壳体中并且传送基板；以及冷却单元，其冷却加热板或已加热的基板。传送单元包括基板放置在其上的传送板，并且冷却单元被提供给传送板。 | ||
| 申请公布号 | CN105321853A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201510454490.7 | 申请日期 | 2015.07.29 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 严基象;徐钟锡 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 张瑞;郑霞 |
| 主权项 | 一种烘烤单元，包括：壳体；加热单元，其位于所述壳体中，所述加热单元包括加热基板的加热板；传送单元，其位于所述壳体中，所述传送单元传送基板；以及冷却单元，其冷却所述加热板或加热过的基板，其中，所述传送单元包括：基板放置在其上的传送板，并且其中，所述冷却单元被提供给所述传送板。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||