发明名称 一种LDI双工件曝光装置
摘要 本实用新型提供了一种LDI双工件曝光装置,其包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台;所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板,所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对PCB板进行曝光;所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧,所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面,所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。本实用新型提供的曝光装置通过设置安全门,避免操作人员触碰到运动中的工件台;还通过保护挡板将工件台隔开,可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧,被运动的吸盘撞到。
申请公布号 CN205028025U 申请公布日期 2016.02.10
申请号 CN201520536036.1 申请日期 2015.07.21
申请人 合肥芯硕半导体有限公司 发明人 张磊;王晓光;卫功文
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人 胡剑辉
主权项 一种LDI双工件曝光装置,其特征在于,包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台;所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板,所述第一工件台、第二工件台分别具有一移动行程,所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对所述PCB板进行曝光;所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧并将所述第一工件台、第二工件台的曝光区域遮盖,所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面,所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧。
地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东