太阳能电池用硅片扩散炉

摘要

本发明公开了一种能够降低生产成本的太阳能电池用硅片扩散炉。该太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门的炉体，炉体内设有石英舟，硅片放置于石英舟上，炉体上设有进气管和排放管，所述排放管上连接有抽风机，所述炉体上设置有开关装置，所述开关装置包括底座，所述底座上设置有可移动式支架和第一驱动装置，还包括旋转杆、推拉杆以及用于推动推拉杆移动的第二驱动装置。由于该结构利用了省力杠杆的结构，因此，在使炉门旋转时，所需的力较小，第二驱动装置承受的负荷较小，因而，不容易损坏第二驱动装置，能不需要频繁更换，减少了购买第二驱动装置所需的费用，可以大大降低生产成本。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。

主权项

太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门(1)的炉体(2)，炉体(2)内设有石英舟(3)，硅片放置于石英舟(3)上，炉体(2)上设有用于扩散气体进入炉体(2)内的进气管(4)和扩散处理后排放尾气的排放管(5)，所述排放管(5)上连接有抽风机(6)，所述炉体(2)上设置有用于打开或关闭炉门(1)的开关装置，其特征在于：所述开关装置包括底座(71)，所述底座(71)上设置有可移动式支架(72)以及用于驱动可移动式支架(72)沿炉体(2)轴向方向移动的第一驱动装置(73)，还包括旋转杆(74)、推拉杆(75)以及用于推动推拉杆(75)移动的第二驱动装置(76)，所述底座(71)、可移动式支架(72)、第一驱动装置(73)、旋转杆(74)、推拉杆(75)以及第二驱动装置(76)均位于炉体(2)的轴向中心线下方，所述第二驱动装置(76)通过转轴固定在可移动式支架(72)上，所述旋转杆(74)的前端固定在炉门(1)上，末端通过转轴固定在可移动式支架(72)上，推拉杆(75)的前端通过转轴固定在旋转杆(74)上，末端与第二驱动装置(76)相连，当第二驱动装置(76)推动推拉杆(75)移动时，推拉杆(75)推动旋转杆(74)绕旋转杆(74)末端的转轴旋转从而带动炉门(1)旋转，所述推拉杆(75)的前端通过转轴固定在旋转杆(74)的前端，所述固定旋转杆(74)末端的转轴与固定第二驱动装置(76)的转轴分别设置在炉体(2)轴向中心线的两侧。