电子开关器件的制造

摘要

一种制造一个或更多电子开关器件的技术，每个开关器件包括在两个电极之间的半导体沟道以及将所述半导体沟道与开关电极分隔开的电介质元件，该方法包括：通过将材料从旋转的第一辊转移到衬底上，在所述衬底上沉积所述材料的层以用于至少部分地形成所述一个或更多开关器件的所述半导体沟道或所述电介质元件。

主权项

一种制造一个或更多电子开关器件的方法，每个开关器件包括在两个电极之间的半导体沟道和将所述半导体沟道与开关电极分隔开的电介质元件，该方法包括：通过将液体材料从旋转的第一辊转移到衬底上，在所述衬底上沉积所述液体材料的层以用于至少部分地形成所述一个或更多开关器件的所述半导体沟道或所述电介质元件；沉积在所述衬底上的该层呈现出小于7％的厚度非均匀性，其中所述厚度非均匀性被定义为干燥之后所沉积的层的平均厚度与干燥之后所沉积的层的最小或最大厚度之间的差，其被表示为干燥之后所沉积的层的平均厚度的百分比。