发明名称 樹脂封止方法および樹脂封止装置
摘要
申请公布号 JP5856007(B2) 申请公布日期 2016.02.09
申请号 JP20120103088 申请日期 2012.04.27
申请人 TOWA株式会社 发明人 平田 雄亮;川窪 一輝;▲徳▼山 秀樹
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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