发明名称 フォトレジスト組成物
摘要
申请公布号 JP5854351(B2) 申请公布日期 2016.02.09
申请号 JP20110282711 申请日期 2011.12.26
申请人 明和化成株式会社 发明人 黒岩 貞昭;古本 貴久
分类号 C08G8/08;G03F7/023;H01L21/027 主分类号 C08G8/08
代理机构 代理人
主权项
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