| 摘要 |
有機発光層を塗布成膜法により形成する場合において、減圧工程を原因とする有機発光層の性能劣化を可能な限り抑制する。有機発光層材料の塗布膜が形成された基板１１を真空ポンプに接続された真空チャンバー内に載置し、真空ポンプにより真空チャンバー内を減圧する減圧工程と、前記減圧工程を経た塗布膜を浄化する浄化工程と、を含み、真空ポンプにおける真空チャンバー内と連通する箇所にはジフェニルアミンが用いられており、前記浄化工程において、減圧工程中に真空ポンプから真空チャンバー内へ飛散し有機発光層１６内部に取り込まれたジフェニルアミン２７の含有量が０［ｎｍｏｌ／ｃｍ3］を超え１３．８［ｎｍｏｌ／ｃｍ3］以下となるように有機発光層１６を浄化する。 |
