少なくとも２つの光学素子を含む波面補正光学配置の製作方法

摘要

【課題】 波面補正光学配置の効率的な製作が可能な方法を提案する。【解決手段】 少なくとも２つの光学素子（２）を含む波面補正光学配置の製作方法により、光学配置内の全波面誤差が判断され、全波面誤差の許容公差範囲と比較される。光学素子（２）は、個別光学素子（２．１Ａ〜２．１Ｈ）が得られるように、それぞれに個々の識別子（９）を割り当てることにより個別化され、個々の面欠陥がすべての個別光学素子（２．１Ａ〜２．１Ｈ）上の正しい座標と共に測定され、測定された個々の面欠陥は適切な個別光学素子（２．１Ａ〜２．１Ｈ）に割り当てられた正しい座標と共に格納される。個別光学素子（２．１Ａ〜２．１Ｈ）を含む光学配置は仮想光学配置（１）として仮想的に製作され、仮想光学配置（１）の全波面誤差が計算される。【選択図】 図１