| 摘要 |
プローブカードやカードホルダの熱膨張に起因して生じるプローブ針の先端位置の変動を抑制できるようにしたプローブカード固定装置、プローブ検査装置、プローブ検査方法及びプローブカードを提供する。プローブカード（１０）をプローバに固定するプローブカード固定装置であって、プローバの筐体に固定するためのコネクションリング（３０）と、コネクションリング（３０）との間でプローブカード（１０）の外周部を挟持するためのカードホルダ（２０）と、プローブカード（１０）の部とコネクションリング（３０）とを固定するためのＰＣＬＳ（５０）と、を備える。 |
