发明名称 INCLINATION ANGLE ADJUSTING DEVICE AND WORKPIECE ATTACHING DEVICE
摘要 본 발명은, 미세 각도의 조정을 고정밀도로 용이하게 할 수 있고, 조정 후의 장치 전체의 강성을 충분히 확보할 수 있도록 하는 경사각 조정 장치 및 워크 장착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 워크 장착면(4)을 갖는 워크 장착체(24)와, 이 워크 장착체(24)를 회전 가능하게 지지하는 회전체(7)를 구비하고, 회전체(7)는 그 축심에 대하여 경사진 경사각 조정면(8)을 가지며, 워크 장착체(24)는 워크 장착면(4)의 반대측에, 워크 장착면(4)에 대하여 경사지고 회전체(7)의 경사각 조정면(8)에 면접촉하는 경사각 조정면(9)을 가지며, 상기 회전체(7)에, 경사각 조정면(8, 9)에 대하여 대략 수직으로 워크 장착체(24)측으로 돌출되며 워크 장착체(24)를 상대 회전 가능하게 지지하는 경사각 조정축(36)을 설치하고, 회전체(7)와 워크 장착체(24)를 경사각 조정축(36) 둘레로 회전 조정 가능하게 결합하는 결합 수단(14)을 포함하며, 회전체(7)와 워크 장착체(24)를 경사각 조정면(8, 9)을 따라 경사각 조정축(36) 둘레로 상대 회전시켜 워크 장착면(4)의 경사각을 조정한다.
申请公布号 KR101592579(B1) 申请公布日期 2016.02.05
申请号 KR20090060338 申请日期 2009.07.02
申请人 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 发明人 히라야마 하루유키;야마다 히로히사;나카니시 요시노리;오카모토 도모히로
分类号 B24B7/22;B24B37/005;B24B37/04;B24B37/10;B24B37/27;B24B41/06;H01L21/304 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
主权项
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