| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES DE POLISSAGE CHIMICO-MECANIQUE |
| 摘要 |
<p>A method of manufacturing polishing layers for use in chemical mechanical polishing pads is provided, wherein the formation of density defects in the polishing layers is minimized.</p> |
| 申请公布号 |
FR2979070(B1) |
申请公布日期 |
2016.02.05 |
| 申请号 |
FR20120057818 |
申请日期 |
2012.08.16 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. |
发明人 |
MCHUGH KATHLEEN;MURNANE JAMES T.;MCCLAIN GEORGE H.;HUTT DURRON A.;BRADY ROBERT A.;YOUNG CHRISTOPHER A.;MILLER JEFFREY B |
| 分类号 |
B24D99/00;B24D3/34 |
主分类号 |
B24D99/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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