| 摘要 |
레이저광을 조사하여 유리 기판을 절단 예정선을 따라 절단하는 유리 기판의 절단 방법으로서, 유리 기판의 한쪽 표면에 레이저광을 조사하는 레이저광의 조사 영역을 포함하는 유리 기판의 절단 예정선에 대하여 직교하는 폭 방향의 일부의 영역을, 유리 기판의 폭 방향으로 만곡시키고, 레이저광의 조사 영역에서, 유리 기판의 한쪽 표면부터 다른 쪽 표면까지의 레이저광 조사부가 기화하는 온도 이상으로 가열하고, 레이저광의 조사 영역을 유리 기판의 절단 예정선을 따라, 유리 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 절단 방법을 제공한다. |
