| 摘要 |
MEMS 센서는 마이크로 전자기계 구조, 검출 회로, 및 런타임 동작 동안 MEMS 센서의 상태를 테스트하는 자체 테스트 회로를 포함한다. 자체 테스트 회로는, 확산 스펙트럼 기반 변조에 근거하는, 광대역 주파수-가변 주파수 신호인 복수의 주입된 테스트 신호를 마이크로 전자기계 구조에 주입하도록 구성된다. 주입된 테스트 신호는, 관심있는 자극을 포함하는, 센서 대역폭의 상당 부분과 중첩하는 테스트 신호 대역폭은 물론 센서 신호의 관측가능한 임계치 이하의 매그니튜드일 수 있다. |
