基板の検査装置及び基板の検査方法

摘要

【課題】短時間で正確に基板の検査を行う。【解決手段】基板の被検査面上に光を照射する光照射部と、被検査面上に映る光照射部の画像を取得する撮像部と、基板又は光照射部の位置を制御することで、被検査面上に映る光照射部の画像を移動させる移動部と、光照射部から照射された光が被検査面の欠陥部分で散乱することで形成された像であって光照射部の画像の輪郭線よりも外側に形成された像を検出することで、被検査面の検査を行う検査部と、を備える。【選択図】図１