薬液処理装置

摘要

薬液処理装置（S）を、薬液タンク（12）からシャワー配管（16）を介してシャワーノズル（14）に薬液（L）を送る過程で、添加液タンク（25）から添加液配管（26）を介してシャワー配管（16）を流れる薬液（L）に添加液（L2）を補給し、シャワーノズル（14）から被処理基板（W）の表面に供給した後の薬液（L）を薬液タンク（12）に回収するように構成する。