发明名称 蓋開閉装置
摘要 蓋開閉装置(1)は、容器本体(71)と、容器本体に対して開閉可能な底部を成す蓋部(72)と、容器本体に対する蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構(74)と、を備えるポッド(70)が載置される装置本体(2)と、当該錠機構に係合する係合ピン(35)を移動させることで、当該錠機構に開錠を行わせるための開錠動作、及び当該錠機構に施錠を行わせるための施錠動作を行う複数の移動部(31)と、当該錠機構に開錠を行わせる場合には、複数の移動部を連動させて複数の移動部に開錠動作を行わせ、当該錠機構に施錠を行わせる場合には、複数の移動部を連動させて複数の移動部に施錠動作を行わせる連動部(32)と、移動部及び連動部を一斉に駆動させる一つのエアシリンダ(33)と、を備える。
申请公布号 JPWO2013187104(A1) 申请公布日期 2016.02.04
申请号 JP20140520978 申请日期 2013.03.26
申请人 村田機械株式会社 发明人 倉津 ▲徳▼幸
分类号 H01L21/677;H01L21/673 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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