| 摘要 |
Es wird ein mikromechanischer Sensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem relativ zum Substrat beweglichen Massenelement vorgeschlagen, wobei das bewegliche Massenelement über eine Federstruktur mit dem Substrat gekoppelt ist, wobei die Federstruktur ein erstes und zweites Federelement aufweist, wobei das erste und zweite Federelement streckenweise im Wesentlichen parallel zueinander verlaufen und streckenweise aneinander gekoppelt sind, wobei die Federstruktur ein erstes und zweites Kompensationselement zur Quadraturkompensation umfasst, wobei das erste Kompensationselement mit dem ersten Federelement verbunden ist, wobei das zweite Kompensationselement mit dem zweiten Federelement verbunden ist, wobei das erste Federelement eine sich entlang einer Querrichtung erstreckende erste Federstrukturbreite aufweist, wobei das zweite Federelement eine sich entlang der Querrichtung erstreckende zweite Federstrukturbreite aufweist, wobei sich das erste Kompensationselement in einem ersten Teilbereich parallel zur Querrichtung entlang einer ersten Breite erstreckt, wobei die erste Federstrukturbreite und die erste Breite unterschiedlich sind, wobei sich das zweite Kompensationselement in einem zweiten Teilbereich parallel zur Querrichtung entlang einer zweiten Breite erstreckt, wobei die zweite Federstrukturbreite und die zweite Breite unterschiedlich sind. |
