非加圧のオゾン化脱イオン水（ＤＩ０３）の再循環及び回収システム並びに方法

摘要

本発明は、一面において、オゾン化液体の再循環のためのシステムを提供する。システムは、少なくとも２つの入口と少なくとも２つの出口とを有するコンタクタを有する。コンタクタは、第１コンタクタ入口を介して第１液源に流体的に連通しており、第２コンタクタ入口を介して第２液源に流体的に連通している。第２コンタクタ入口はガスを受け取り、該ガスは、第１コンタクタ入口において受け取られる液体からガスの少なくとも一部を取り除く。取り除かれるガスは、第１コンタクタ出口からコンタクタを出る。コンタクタは第２コンタクタ出口を介して第２液源に流体的に連通し、コンタクタはコンタクタ内の液体の少なくとも一部を排出する。排出される液体は、第２コンタクタ出口からコンタクタを出る。コンタクタは第１液源に流体的に連通する第３入口を有し、第３入口は第１液源に周囲圧力で液体を放出させる。