| 摘要 |
본 발명의 용사 재료는 이트륨의 옥시플루오르화물(YOF)을 포함하는 과립을 가진다. 이 과립은 또한 이트륨의 플루오르화물(YF)을 포함하고 있어도 된다. 이 과립의 산소 함유량은 0.3질량%~13.1질량%인 것이 바람직하다. 이 과립의 파괴 강도는 0.3MPa 이상 10MPa 미만인 것이 바람직하다. 이 과립에서의 이트륨(Y)의 일부는 이트륨 이외의 희토류원소(Ln)의 적어도 1종에 의해 치환되어 있어도 된다. 그 경우의 Y와 Ln의 합계에 대한 Ln의 몰분율은 0.2 이하인 것이 바람직하다. |
