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发明名称 半導体装置
摘要
申请公布号 JP5849849(B2) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 JP20120100056 申请日期 2012.04.25
申请人 株式会社デンソー 发明人 古川 泰至;杉浦 和彦
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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