一种激光束偏移测量方法

摘要

一种激光束偏移测量装置，包括：一测量标记；一CCD摄像机；一图像采集和处理单元；其中，测量光束照射所述测量标记，所述CCD摄像机拍摄所述测量光束所成的图像，经所述图像采集和处理单元得到光束相对于所述测量标记的偏移。本发明的激光束偏移测量方法，实现简单，操作简易，可直接给出测量结果。

主权项

一种激光束偏移测量方法，包括一测量标记，用于测量激光束的偏移，所述测量标记包括一透明基底；所述透明基底上镀有金属透射层；所述金属透射层与以测量标记中心为圆心、激光束的束腰半径为半径的圆相内切，所述以测量标记中心为圆心、激光束的束腰半径为半径的圆内切于所述金属透射层，所述激光束偏移测量方法包括如下步骤：第一步：用平行光照射测量标记，再由CCD摄像机拍摄测量标记所成图像，经图像采集和处理单元处理图像，得到测量标记中心相对于CCD摄像机中心的偏移关系；第二步：用要测量激光束照射测量标记，再由CCD摄像机拍摄图像，经图像采集和处理单元处理图像，得到激光束相对于CCD摄像机中心的偏移关系，其中，与测量标记相交的激光束在束腰处；第三步：根据第一步和第二步的偏移关系，得到激光束相对于测量标记的偏移关系。