发明名称 Production of thin film metallic patterns
摘要
申请公布号 US3133874(A) 申请公布日期 1964.05.19
申请号 US19600073827 申请日期 1960.12.05
申请人 MORRIS ROBERT W 发明人 MORRIS ROBERT W.
分类号 C23C14/35;H01J37/34;H01L49/02 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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