| 发明名称 | 基片控温系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基片控温系统及方法，所述基片控温系统包括：真空腔室；用于放置基片的样品台，设置在所述真空腔室内，且包括用于对所述基片进行加热的加热器；与所述样品台连接的循环管道，包括入口和出口；惰性气体源，通过进气阀连接在所述循环管道的入口处；冷水机水箱，通过进水阀连接在所述循环管道的入口处；以及与所述加热器、进气阀和进水阀电连接的控制单元，当需要对所述基片加热时，打开所述进气阀且保持所述进水阀关闭；当需要对所述基片进行降温时，打开所述进水阀且保持所述进气阀关闭。本发明可以对基片的温度进行控制。 | ||
| 申请公布号 | CN105296952A | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
| 申请号 | CN201510737946.0 | 申请日期 | 2015.11.03 |
| 申请人 | 深圳职业技术学院;上海超导科技股份有限公司 | 发明人 | 赵升升;高素萍;潘展程;彭楚尧 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人 | 王小青 |
| 主权项 | 一种基片控温系统，其特征在于，包括：真空腔室；用于放置基片的样品台，设置在所述真空腔室内，且包括用于对所述基片进行加热的加热器；与所述样品台连接的循环管道，包括入口和出口；惰性气体源，通过进气阀连接在所述循环管道的入口处；冷水机水箱，通过进水阀连接在所述循环管道的入口处；以及与所述加热器、进气阀和进水阀电连接的控制单元，当需要对所述基片加热时，打开所述进气阀且保持所述进水阀关闭；当需要对所述基片进行降温时，打开所述进水阀且保持所述进气阀关闭。 | ||
| 地址 | 518055 广东省深圳市南山区西丽湖深圳职业技术学院 | ||