一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置

摘要

本实用新型涉及一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。该装置设计简单，制作容易，加工成本低，维护方便，适用范围广，可普遍使用；该装置稳定性强，由于所用材料与原靶材相同，不会对生产过程产生不利影响；该装置可使圆形平面靶材多次利用，大大提升圆形平面靶材利用率，减少生产浪费，降低生产成本。

主权项

一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，其特征在于：所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。