电子透镜和电子束装置

摘要

本发明提供了一种用于使用永久磁铁有效地绘制微细图案的装置。所述装置具有：外筒（201），其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁（202），其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈（204），其位于所述圆筒形永久磁铁的内部，并且与所述筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路（203），其位于所述筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流过其中并且控制在所述筒形永久磁铁中的温度变化。

主权项

一种电子透镜，其用在具有用于在Z轴方向上发射电子束的电子枪的电子束装置中，所述电子透镜包括：外筒，其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁，其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈，其位于所述圆筒形永久磁铁的内侧或者外侧，与所述圆筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述圆筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路，其位于所述圆筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流经其中并且控制在所述圆筒形永久磁铁中的温度变化。