| 发明名称 | 晶圆夹盘 | ||
| 摘要 | 本发明涉及夹盘技术领域，尤其是一种晶圆夹盘，包括夹盘座，所述夹盘座中间设有圆形夹孔，夹孔周边套由橡胶套，所述夹盘座底部设有防震垫脚，侧面设有可伸缩的工件台。本发明可对晶圆进行固定方便测量，并且提供稳定支撑，确保数据准确。 | ||
| 申请公布号 | CN105304548A | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
| 申请号 | CN201510668908.4 | 申请日期 | 2015.10.13 |
| 申请人 | 常州隆德电气有限公司 | 发明人 | 戴惠宇 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人 | 沈毅 |
| 主权项 | 一种晶圆夹盘，包括夹盘座（1），其特征是，所述夹盘座（1）中间设有圆形夹孔（2），夹孔（2）周边套由橡胶套（3），所述夹盘座（1）底部设有防震垫脚（4），侧面设有可伸缩的工件台（5）。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进高新技术产业开发区万塔村（红庙头） | ||