发明名称 |
一种异质结太阳能电池及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法,用以去除传送过程中晶体硅片表面和硅薄膜层上的沾污和氧化层,提高晶体硅片表面的钝化质量,提升电池的填充因子和转换效率。所述异质结太阳能电池的制备方法,包括:在晶体硅片第一侧表面沉积第一硅薄膜层,在晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层;在所述晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层之前,对所述第一硅薄膜层和所述晶体硅片第二侧表面进行清洗,和/或在所述晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层之后,对所述第一硅薄膜层和所述第二硅薄膜层进行清洗。 |
申请公布号 |
CN105304746A |
申请公布日期 |
2016.02.03 |
申请号 |
CN201510622094.0 |
申请日期 |
2015.09.24 |
申请人 |
新奥光伏能源有限公司 |
发明人 |
王进;张娟;陈光羽;谷士斌;张林;田小让;侯洪涛;赵冠超;何延如;杨荣;王琦;李立伟;郭铁 |
分类号 |
H01L31/074(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/074(2012.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:在晶体硅片第一侧表面沉积第一硅薄膜层,在晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层;在所述晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层之前,对所述第一硅薄膜层和所述晶体硅片第二侧表面进行清洗,和/或在所述晶体硅片第二侧表面沉积第二硅薄膜层之后,对所述第一硅薄膜层和所述第二硅薄膜层进行清洗,其中,所述晶体硅片的第一侧表面与第二侧表面相对。 |
地址 |
065001 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号 |