低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置

摘要

本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置，其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵（10）具备：1级板（20），其通过制冷机（16）的1级冷却台（22）冷却；2级板（18），其通过制冷机的2级冷却台（24）冷却；板温度传感器（94、96），其设置于1级板及2级板中的至少一方；冷却台温度传感器（90、92），其设置于1级冷却台及2级冷却台中的至少一方；及控制部（100），其控制基于冷却台温度传感器的测定温度的真空排气。控制部控制包含低温板的升温工序的再生，且专门在再生中使用板温度传感器的测定温度。控制部基于板温度传感器的测定温度来完成升温工序。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具备1级冷却台和冷却成低于1级冷却台的温度的2级冷却台；低温板，其具备通过所述1级冷却台来冷却的1级板和通过所述2级冷却台来冷却的2级板；板温度传感器，其设置于所述1级板及所述2级板的至少其中之一；冷却台温度传感器，其设置于所述1级冷却台及所述2级冷却台的至少其中之一；及控制部，其连接为能够接收所述板温度传感器及所述冷却台温度传感器的测定结果，并且构成为对基于所述冷却台温度传感器的冷却台测定温度的真空排气和包含所述低温板的升温工序的再生进行控制，且专门在所述再生中使用所述板温度传感器的板测定温度，所述控制部基于所述板温度传感器的板测定温度来完成所述升温工序，所述板温度传感器具有包含所述升温工序中的升温目标温度的可测定温度区域，该可测定温度区域为高于所述真空排气中的所述低温板的冷却目标温度的温度范围，且不包含超低温。