发明名称 电子注轴向速度测量系统
摘要 本发明提供了一种电子注轴向速度测量系统。该电子注轴向速度测量系统包括:容性探针装置、收集极腔体结构、电压积分及传输电路、电压测量装置和电流测量装置。容性探针装置包括:主腔体结构和电子注感应环。收集极腔体结构,与主腔体结构相连通,呈中间大、两头小的纺锤形。电压积分及传输电路,其前端电性连接至电子注感应环,用于将电子注穿过容性探针时产生的感应电荷转换为电压信号。电压测量装置,电性连接于电压积分及传输电路的后端。电流测量装置,电性连接至收集极腔体结构。本发明可以减小测量过程中杂散电子的影响,提高电子注轴向速度的测量精度。
申请公布号 CN103794449B 申请公布日期 2016.02.03
申请号 CN201410080679.X 申请日期 2014.03.06
申请人 中国科学院电子学研究所 发明人 阮存军;李庆生;李崇山;姜波;李彦峰
分类号 H01J37/244(2006.01)I 主分类号 H01J37/244(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种电子注轴向速度测量系统,其特征在于,包括:容性探针装置(100),包括:主腔体结构(110);以及电子注感应环(130),由金属导电材料制备,隔着绝缘陶瓷筒(120)固定于主腔体结构(110)的内侧;收集极腔体结构(600),与所述主腔体结构(110)相连通,呈中间大、两头小的纺锤形;电压积分及传输电路(800),其前端电性连接至所述电子注感应环(130),用于将电子注穿过容性探针时产生的感应电荷转换为电压信号;电压测量装置,电性连接于所述电压积分及传输电路(800)的后端;以及电流测量装置,电性连接至所述收集极腔体结构(600);前电子吸收环(102),设置于所述主腔体结构(110)的前端,其内径r<sub>1</sub>满足:1/4R≤r<sub>1</sub>≤1/2R,其中,R为所述主腔体结构(110)的内径;后电子吸收环(103),设置于所述主腔体结构(110)的后端,用于阻挡由所述收集极腔体结构(600)反射回所述主腔体结构(110)的电子;其中,电子注由所述主腔体结构(110)的入口进入,经由所述主腔体结构(110)进入所述收集极腔体结构(600)内,由该收集极腔体(600)进行吸收,由电压测量装置和电流测量装置分别得到电子注感应电压V(t)及电子注电流I(t)。
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