发明名称 |
可调节式光学镀膜夹具 |
摘要 |
可调节式光学镀膜夹具,涉及光学镀膜领域,解决了现有镀膜夹具存在的只针对单一尺寸和单一形状的待镀膜基片而当待镀膜基片的尺寸和形状发生改变时不再适用的问题。本发明包括连接构件;开有多个T型槽的固定导向构件;一一对应安装在T型槽内且与T型槽间隙配合的滑动构件;夹持构件包括三个支撑架、固定在上支撑架上的丝杠、套装在丝杠上的滑块、固定在滑块上的柔性部分;上支撑架边缘的凸出结构与待镀膜基片上表面和侧面接触,柔性部分上表面与待镀膜基片下表面接触;滑动构件通过锁紧螺钉与下支撑架相连,通过锁紧螺钉使滑动构件和下支撑架夹紧固定导向构件的T型槽。本发明实现了对不同尺寸、形状待镀膜基片的夹持,镀膜周期缩短、成本降低。 |
申请公布号 |
CN105296951A |
申请公布日期 |
2016.02.03 |
申请号 |
CN201510682771.8 |
申请日期 |
2015.10.20 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
时光;张立超;梅林;才玺坤;武潇野;贺健康;隋永新;杨怀江 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 22210 |
代理人 |
于晓庆 |
主权项 |
可调节式光学镀膜夹具,包括与真空镀膜机中的夹具承载座固连的连接构件(1),其特征在于,还包括:与连接构件(1)固连且开有多个T型槽的固定导向构件(2);一一对应安装在T型槽内且与T型槽间隙配合的滑动构件(3),所述滑动构件(3)能在T型槽内滑动;夹持构件(4),包括:边缘设置有凸出结构(408)的上支撑架(401),所述凸出结构(408)与待镀膜基片(5)的上表面和侧面接触;与上支撑架(401)固连且中心为中空结构的中支撑架(402);固定在上支撑架(401)上且位于中支撑架(402)的中空结构内的丝杠(406);套装在丝杠(406)上且与中支撑架(402)的中空结构间隙配合的滑块(405),旋转丝杠(406)使滑块(405)沿丝杠(406)运动;固定在滑块(405)上的柔性部分(404),所述柔性部分(404)上表面与待镀膜基片(5)的下表面接触;与中支撑架(402)固连的下支撑架(403),所述滑动构件(3)通过锁紧螺钉(407)与下支撑架(403)相连,通过锁紧螺钉(407)的作用使滑动构件(3)和下支撑架(403)夹紧固定导向构件(2)的T型槽,每个滑动构件(3)与一个夹持构件(4)相连。 |
地址 |
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 |